精密仪器系源于1932年成立的清华大学工学院机械工程学系，是我国历史最悠久的工科院系之一。2012年12月，学校决定以精密仪器与机械学系的仪器科学和光学工程学科为基础，成立现在的精密仪器系。
精密仪器系现有在校博士研究生456人，硕士研究生122人，本科生89人；拥有2门国家级精品课程、3门北京市精品课程、6门清华大学精品课程，4门课程通过首批国家级一流本科课程认定；建有3个国家级科研平台、3个教育部重点实验室、1个北京市重点实验室、3个自主批建科研机构和3个校企联合科研机构；现有院士2人、国家高层次人才称号和国家杰出青年科学基金获得者18人、国家青年人才称号和国家优秀青年科学基金获得者13人，在职教师合计共77人；建有教育部创新团队、国防科技创新团队、重点领域创新团队各1个。
精密仪器系现有29个党支部，党员总人数504人，其中在职教职工党员133人、离退休教职工党员66人、本科生党员27人、研究生党员278人，此外还有发展对象40人，积极分子63人。
自党的十九大以来，精密仪器系在各方面工作中取得了一系列成果。
以高质量党建引领开创高质量发展新局面
精密仪器系坚持党的全面领导，坚持党管政治方向，通过建设学习型党组织、创建精密仪器系党委党校、探索在工科团队中建设功能型党支部、加大在青年骨干教师中发展党员力度、开辟理论学习新阵地、加强党建研究等有力举措，在提升党员教育管理、基层党组织有效覆盖和组织力方面出经验、出示范，不断加强师生思想政治工作和基层党组织建设，凝聚师生共识，汇聚发展合力。十九大以来，共发展14名教职工骨干入党，近年来蝉联党建评估A+级，多次获得基层党建质量提升“攀峰工程”特色项目优秀组织奖等；成功组织精密仪器系90周年系庆活动，打造“9003+”系列精仪品牌特色活动。精密仪器系始终坚持党管改革发展，狠抓安全体系建设，实现了“零”安全责任事故的目标。围绕教育教学、人才队伍、学科发展等中心任务统筹布局，通过发起成立为先书院、推进本博贯通试点改革、引进培养领军人才、建强工科大团队、按照“四个面向”布局重点科研方向并取得众多原创性重大成果，使精密仪器系各方面工作不断迈向新高度。
坚持立德树人，提高人才培养质量
精密仪器系落实立德树人根本任务，抓住强基计划和本研贯通等改革机遇，构建“三全育人”和“五育并举”深度融合的协同育人体系。提出以“探索式实验实践教学”为特色的140+X学分新培养方案，改造升级教学实验室，建设全国精仪领域高校和科研院所的学术研讨平台，持续推动学生发展中心和导学空间建设，精仪系入选清华大学第一批导学思政示范院系培育创建名单。连续五年荣获清华大学“五星级博士生学术论坛”荣誉称号，助力学生全面发展和多元成长。十九大以来，获得中国学位与研究生教育学会研究生教育成果奖一等奖1项、中国仪器仪表学会高等教育教学成果奖一等奖1项、全国优秀教材二等奖1项、北京高校青年教师教学基本功比赛工科类A组一等奖1项、清华大学教学成果奖1项、清华大学青年教师教学优秀奖1项、清华大学年度教学优秀奖3人次、清华大学优秀班主任一/二等奖8人次，清华大学实验技术成果奖二等奖2项、教师指导或参与的SRT计划项目获特等奖3项、一等奖5项、二等奖4项，并获SRT计划优秀组织奖。学生总体就业率长期100%，重点率持续上升，稳定在90%以上，各项就业数据位于全校前列，连续多年获清华大学就业工作先进集体（综合奖）。
创新工科有组织科研模式，促进学科高质量发展
精密仪器系充分发挥党委统揽全局的核心作用，大力推进一流学科建设，服务精密仪器系高质量发展。在学科建设方面保持提升并举，2021年全国高校学科评估中精密仪器系仪器学科蝉联A+级，光学学科步入A序列。打造高端平台，支持精密测试技术及仪器全国重点实验室及时空信息感知技术全国重点实验室建设，产学研合作深度融合，与行业领军企业北方激光、北京航天测控技术有限公司等紧密合作，显著提升重大科研攻关和解决国家亟需的关键核心技术的能力，打通产学研用全链条，加速技术迭代与成果产业化，驱动科研经济价值实现与产业技术革新。深入推进以工科大团队为组织形式的有组织科研模式创新，形成了11个高水平工科大团队，在促进学科交叉融合、加强基础前沿研究、突破“卡脖子”关键核心技术、探索适合中国国情的可持续可复制颠覆性创新道路等方面开展了卓有成效的工作。这些举措有力推进了精仪系有组织科研的顺利转型，各团队在承担国家重大任务、科研成果产出等方面都取得“井喷式”发展。2024年，精密仪器系到账科研经费近5亿元，在《自然》《科学》杂志及其子刊上发表高水平学术论文16篇，SCI论文187篇；国际科研合作广度拓展，携手苹果研发、剑桥大学等顶尖机构，签订4项国际合作科研项目，融入全球创新生态。主导建设的MUST国际大科学工程及参与建设的SKA平方公里阵列国际科学工程，彰显学科国际影响力与担当。
引育并举，建设高水平教师队伍
精密仪器系紧紧围绕学校“十四五”建设部署，积极探索学科建设、科研平台与团队共建机制，引育并举，打造高水平教师队伍。十九大以来，精密仪器系充分发挥人事制度改革优势，加大高水平人才引进和培养力度，不断加强人才梯队建设。截至2025年3月，精密仪器系国家高层次人才称号获得者数量较5年前增长38%。
